转塔式测试分选机技术要求(这里只介绍后两种机型)

　　A常规编带机技术要求

　　1. 16 - 24个工位/ 15°- 22.5°旋转角度

　　2. 单工位转动时间:18 - 22毫秒

　　3. 向下/向上Z轴的平均移动时间:10ms左右 / 10ms左右

　　4. 转盘惯性:0.003 ~ 0.020 kg.m2之间

　　5. 测试时间:40 - 60毫秒

　　6. 产能:40 - 60 k UPH

　　7. 下压轴重复精度: 5~10微米

　　B晶圆级编带机技术要求

　　1. 24-32个工位/ 11.25°- 24°指数

　　2. 单工位转动时间:35-50毫秒

　　3. 上下Z轴移动时间:8ms / 8ms

　　4. 转盘惯性:0.02~0.5 kg.m2之间

　　5. 测试时间:50 - 100ms

　　6. 产能:15 - 30 k UPH

　　7. 软着陆

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