PI采用磁悬浮技术

　　实现更高的高精度定位水平

　　皮米级分辨率

　　通过将磁性导向装置和专用高精度驱动和传感器技术相结合，实现高动态和低至皮米级的最高分辨率。

　　六自由度的主动控制

　　利用主动控制和多达6个自由度的导向特性定义功能，可执行额外的校正任务，例如在操作期间进行沿Z向对焦或调整偏摆角度。

　　非接触式操作

　　无摩擦导向原理，有效避免滚动元件、润滑和气流，从而确保在整个使用寿命内实现最高精度，且可适用于无尘室环境。

　　市场和应用

　　在定位解决方案的开发中利用磁悬浮技术的特性，实现高精度、快速和无磨损的运动。这可以将要求苛刻的半导体制造或显微镜检验任务中的成像质量提高到一个全新的精度水平。

　　"磁悬浮技术的独特之处在于我们可以在机械系统内使用无接触轴承。”我们的并联运动和磁驱动专家Christian Rudolf博士，深入探讨了PI磁悬浮解决方案的 激动人心的开发过程。