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公司类型:生产商

主营产品:直线电机,音圈电机,力矩电机,精密运动平台

所在地区:上海市 市辖区

注册时间:2021-01-26

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公司名称:雅科贝思精密机电(上海)有限公司

地址:上海市浦东新区川沙路6999号

联系人:销售部

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【Semicon邀请函】创“芯”征途,笃行不怠

时间:2023-06-20   来源:雅科贝思精密机电(上海)有限公司

雅科贝思

 #展品剧透 #精彩抢先看

  雅科贝思将亮相2023 Semicon China展会,届时,雅科贝思将展出多款半导体行业专用高精直驱产品及解决方案,如:ZTPR晶圆检测模块、ADR-H系列高速力矩电机、高精气浮平台、真空电机等产品,诚邀各位莅临雅科贝思展位参观洽谈。

  ▶ ZTPR晶圆检测四轴ZT模块

雅科贝思

  PGS-ZTPR提供4个自由度的运动,在Z向提供4mm的对焦行程并可对Rx和Ry(Tip–Tilt)实现微调,T轴可实现超过200°的旋转。

  产品特点

  ◇ 磁浮电机

  ◇ 柔性铰链导向

  ◇ 负载可达2.5kg

  ◇ 集成真空传感器,电磁阀和温度传感器

  适用于

  薄膜测量、OCD光学线宽测量等

  ▶ 高精气浮转台

雅科贝思

  产品特点

  ◇ 中孔设计方便电缆或激光穿过

  ◇ 内置无刷直驱电机

  ◇ 结构紧凑,高刚性

  ◇ 扁平设计有助于降低系统高度,

  最小化堆叠误差

  ◇ 超低速度波动

  ◇ 低轴向/径向端跳<100nm

  ◇ 重复定位精度可达±0.5arcsec

  适用于

  光学检测、晶圆检测、纳米技术设备制造、光学制造等

  ▶ XY高精气浮平台

雅科贝思

  该系列集成了气浮导轨、直线电机、高精度光学编码器、高柔屏蔽线缆等零部件。

  产品特点

  ◇ 自产高刚性气浮导轨(专利技术)

  ◇ 300mm行程双向重复定位精度

  <0.15(±0.075)μm

  ◇ 300mm行程平面度<±0.75μm

  适用于

  晶圆检测、单点钻石车削、激光微加工等

  ▶ 分选机专用高速力矩电机

雅科贝思

  转塔式分选机尤其适用于小型片式半导体分立元件的打标、测试、分选和包装,是一种主转盘在中心,各个测试工位按照顺序均布在主电机周围的一种高速分选机,通常包含工位有16个和24个等多种型号。

  产品特点

  ◇ 直驱无刷电机

  ◇ 低惯量设计,转动惯量低至0.0025kg·m2

  ◇ 重复定位精度可达±2arcsec

  适用于

  芯片焊接机、分选机等

  ▶ 真空直线电机

雅科贝思

  产品特点

  ◇ 低释气

  ◇ 真空兼容(RGA测试)

  ◇ 无铁芯技术

  ◇ 零齿槽力

  ◇ 高持续力和峰值力

  ◇ 持续力范围: 4.5N~769N

  适用于

  前道/后道晶圆搬运及检测设备、玻璃及液晶面板,生物医疗设备等有真空要求的场合

  ▶ 真空旋转电机(接受定制)

雅科贝思

  产品特点

  ◇ 低释气

  ◇ 高真空度10-7 torr

  ◇ 直驱无刷永磁电机

  ▶ 高速龙门

雅科贝思

  产品特点

  ◇ 高速高加速龙门结构

  ◇ 加速度可达3g

  ◇ 速度可达3m/s

  ◇ 行程 600*600mm

  适用于

  半导体贴片设备、微组装及测试等

  ▶ 龙门平台(运动控制和驱动)

雅科贝思

  产品特点

  ◇ 柔性龙门控制,搭配3D误差补偿

  ◇ 星型拓扑结构,实现8轴61μs的刷新频率

  ◇ CNC模式,支持G代码、M代码

  ▶ 主动隔振器

雅科贝思

  产品特点

  ◇ 减震器采用气囊实现被动隔振,由音圈电机实现主动减振

  ◇ 使用音圈电机快速响应,实现六自由度方向振动消除

  ◇ 主要配置:气浮模块、制动器模块、信号监控模块、控制器模块

  更多半导体行业直驱解决方案等你来雅科贝思展位现场解锁~

标签:雅科贝思
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