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　　雅科贝思将亮相2023 Semicon China展会，届时，雅科贝思将展出多款半导体行业专用高精直驱产品及解决方案，如：ZTPR晶圆检测模块、ADR-H系列高速力矩电机、高精气浮平台、真空电机等产品，诚邀各位莅临雅科贝思展位参观洽谈。

　　▶ ZTPR晶圆检测四轴ZT模块

　　PGS-ZTPR提供4个自由度的运动，在Z向提供4mm的对焦行程并可对Rx和Ry(Tip–Tilt)实现微调，T轴可实现超过200°的旋转。

　　产品特点

　　◇ 磁浮电机

　　◇ 柔性铰链导向

　　◇ 负载可达2.5kg

　　◇ 集成真空传感器，电磁阀和温度传感器

　　适用于

　　薄膜测量、OCD光学线宽测量等

　　▶ 高精气浮转台

　　产品特点

　　◇ 中孔设计方便电缆或激光穿过

　　◇ 内置无刷直驱电机

　　◇ 结构紧凑，高刚性

　　◇ 扁平设计有助于降低系统高度，

　　最小化堆叠误差

　　◇ 超低速度波动

　　◇ 低轴向/径向端跳<100nm

　　◇ 重复定位精度可达±0.5arcsec

　　适用于

　　光学检测、晶圆检测、纳米技术设备制造、光学制造等

　　▶ XY高精气浮平台

　　该系列集成了气浮导轨、直线电机、高精度光学编码器、高柔屏蔽线缆等零部件。

　　产品特点

　　◇ 自产高刚性气浮导轨(专利技术)

　　◇ 300mm行程双向重复定位精度

　　<0.15(±0.075)μm

　　◇ 300mm行程平面度<±0.75μm

　　适用于

　　晶圆检测、单点钻石车削、激光微加工等

　　▶ 分选机专用高速力矩电机

　　转塔式分选机尤其适用于小型片式半导体分立元件的打标、测试、分选和包装，是一种主转盘在中心，各个测试工位按照顺序均布在主电机周围的一种高速分选机，通常包含工位有16个和24个等多种型号。

　　产品特点

　　◇ 直驱无刷电机

　　◇ 低惯量设计，转动惯量低至0.0025kg·m2

　　◇ 重复定位精度可达±2arcsec

　　适用于

　　芯片焊接机、分选机等

　　▶ 真空直线电机

　　产品特点

　　◇ 低释气

　　◇ 真空兼容(RGA测试)

　　◇ 无铁芯技术

　　◇ 零齿槽力

　　◇ 高持续力和峰值力

　　◇ 持续力范围: 4.5N~769N

　　适用于

　　前道/后道晶圆搬运及检测设备、玻璃及液晶面板，生物医疗设备等有真空要求的场合

　　▶ 真空旋转电机(接受定制)

　　产品特点

　　◇ 低释气

　　◇ 高真空度10-7 torr

　　◇ 直驱无刷永磁电机

　　▶ 高速龙门

　　产品特点

　　◇ 高速高加速龙门结构

　　◇ 加速度可达3g

　　◇ 速度可达3m/s

　　◇ 行程 600*600mm

　　适用于

　　半导体贴片设备、微组装及测试等

　　▶ 龙门平台(运动控制和驱动)

　　产品特点

　　◇ 柔性龙门控制，搭配3D误差补偿

　　◇ 星型拓扑结构,实现8轴61μs的刷新频率

　　◇ CNC模式，支持G代码、M代码

　　▶ 主动隔振器

　　产品特点

　　◇ 减震器采用气囊实现被动隔振，由音圈电机实现主动减振

　　◇ 使用音圈电机快速响应，实现六自由度方向振动消除

　　◇ 主要配置:气浮模块、制动器模块、信号监控模块、控制器模块

　　更多半导体行业直驱解决方案等你来雅科贝思展位现场解锁~